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Wafer在历经晶圆厂制程生成,并测试(WAT)后,在流向封装厂之前,会先经过CP厂的测试,以将FAB厂因制程过程中的造成的不良die挑出来。那wafer在CP厂内详细的工艺流程和质量控制点是怎样呢?
1.收料入库
Wafer经过运输,从FAB厂运输到CP厂来料仓库。仓库人员在收到物料后,会安排来料信息的核对,包括产品的型号(Device),数量信息博鱼boyu体育。 以及外包装是否有破损等异常。若发现异常,会第一时间通知其客户介入处理。
2.Wafer装载方式的转换(可选)
行业内FAB厂通用圆饼盒(也俗称饼干盒)和晶周盒(cassette)两种方式装载wafer。 因在后续CP正式的测试时,因测试机台取片方式的限制,只能使用晶周盒装载。故来料若为圆饼盒,则需要使用专门的设备(倒片机)对wafer装载方式进行变更。
3.IQC检验
这过程主要是对wafer来料的外观进行确认,分宏观和微观。抽样的比例和数量一般按客户要求执行。行业内通用做法:宏观上每片来料wafer 100%确认,微观上根据wafer尺寸大小分区域(如8寸 5个区域,12寸9个区域)进行抽样确认博鱼boyu.com体育。同样的,若有发现一定比例的不良,也会反馈客户确认和指示。
Wafer检验进行中
4.测试前准备
这过程主要是改机。涉及几个方面内容:
a.针卡的安装(如果有同型号产品在做,则省略)博鱼·体育登录入口
b. 导入客户提供的测试程序到测试机;
c.确认机台需要卡控的参数是否正确;
d.对产品试扎测试,确认针痕印是否在die的正中心,即无偏离的情形。
5.CP测试
此过程为核心测试工序,设备按照设定的测试程序进行。这过程根据wafer作用不同,客户提出的要求也不尽相同。可能出现多道CP的情形,同时在测试过程中,测试的温度也可能有差异,比如高温105℃,低温-40℃。主要取决于芯片最终的应用场景。比如车载芯片,就需要芯片能抗住高低温的考验。
6.烘烤(bake)(可选)
根据客户需求,测试完成后为保持wafer表面没有水气聚集,会安排烘烤,避免在封装加工前wafer表面上的pad出现氧化,影响封装的打线工序。此工序一般都会执行,特殊情形除外。
7.Ink(打墨点) (可选)
为方便下游封装厂机台识别good die与bad die,CP厂会根据客户的要求在bad die上进行打墨点。 此工序可选是因为当前还有一种mapping标记bad die的方式。行业内目前这两种做法都存在。
8.AOI外观检验
经过前面的各工序,因为涉及机台,人工操作,可能会对wafer表面造成一定的外观损伤。此时利用AOI(自动光学检验)设备,对每颗die 100%进行确认,并做相应的标记。相应的该片wafer最终的good die数量,良率数据就出来了。此时,如果数据不达标,工厂就需要确认原因所在,良率数据不满足客户要求的,还需要反馈客户。博鱼boyu体育
当然,各CP厂的能力不同,对于没有条件购买此AOI设备的,则会安排人工,与IQC类似进行人工检验。这种方式会存在外观漏检流出的情形,容易出现客诉博鱼boyu官网。
9.Packing包装
经过前面的工序,整个对wafer的测试、检验工作就算完成了。接下来就是产品的包装。这过程需要将晶周盒用铝箔袋包装并抽真空,然后装入客户指定的外箱中。整个包装所用到的材料,包装方式客户一般都会有明确的要求。
10.出货
按照客户的出货指令出货。不过这过程也容易出错。比如客户不是整批出,只出一部分;又或者把客户出货的目的地弄错了。这些往往需要用到系统去卡控,尽量减少人工的判断。